空氣潔凈度等級(air cleanliness class):潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。用空態和靜態方法進行測試。
一、潔凈室的空氣潔凈度,應進行下列測試
(一)空態、靜態測試
空態測試:潔凈室已竣工,凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試。
靜態測試:潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態,工藝設備已安裝,室內沒有生產人員的情況下進行測試。
(二)動態測試
潔凈室已處于正常生產狀態下進行測試。
潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。
二、空態、靜態測試
(一)測試前的準備
1. 應對潔凈室及其凈化空氣調節系統進行徹底清潔。
2. 采用光散射粒子計數器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側靜壓箱內(或風管內)粒徑大于或等于0.5μm的塵粒數應為大于或等于30,000粒/升。如若不夠,可引入煙霧,然后開始檢漏。將粒子計數器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過濾器2-3厘米處,可以2-4厘米/秒的速度移動,對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。
當粒子計數器讀數為空氣口大于或等于0.5μm的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認為該處有明顯滲漏,必須進行堵漏。
(二)測試內容
1. 總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;
2. 潔凈室壓力值;
3. 層流潔凈室斷面風速和氣流流向;
4. 潔凈工作區的潔凈度;
5. 室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;
6. 潔凈室內噪聲。
一般在潔凈室是有等級的,采用多種工序操作時,應根據各工序不同的要求,采用不同的空氣潔凈度等級,依據工序要求確定等級。
潔凈室(區)空氣潔凈級別表